编程模式

手动编写、自动编写、CAD数据导入自动对应元件库

检测类型

晶圆片产品：凹洞、接触面残、接触面残氧、异物附着、表面污渍残留等表面不良

产品表面外观检测检查：产品外观的不良缺陷、瑕疵

计算方法

机器自动学习、彩色运算、颜色提取、灰阶运算、图像对比等等

检测模式

覆盖整个晶圆片产品的优化检测技术，和多mark，含Bad mark功能

SPC统计功能

全程记录测试数据并进行统计和分析，任何区域都可查看生产状况和品质分析

最小零件

60mil

光学配置

定制相机

定制工业数字高清相机 500万相素，全局曝光 CMOS 500万像素分辨率，像源尺寸：4.8

相机靶面：1寸

镜头分辨率

8um/10um/15um/18um/20um/25um，特殊应用时可订制

光源

环形立体多通道彩光，视应用选择RGB/RGBW/RGBR/RWBR

计算机

CPU

E3.3.40GHZ

RAM

16GB

HDD

1TB   机械硬盘 

OS

Win   7.1 64bit

Monitor

22寸，16:10

机械系统

运送和检测方式

人工取放晶圆片产品， Y伺服电机移动PCB， X伺服电机驱动相机取图

产品尺寸

20*20mm(Min)～450*330mm(Max)， 特殊应用时可订制

产品厚度

0.3～5.0mm

产品重量

Max：3KG

产品的边

3mm，特殊应用时可订制

产品弯曲度

＜5mm 或 PCB对角线长度的3%

产品零件高度

Top：35mm，Bottom：75mm。可调节，特殊应用时可订制

XY 驱动系统

AC伺服电机，精密研磨滚珠丝杆

XY 移动速度

Max：830mm/s

XY 定位精度

≦8um

整机参数

设备外形尺寸

L1200   * W900 * H1500 mm

电源

AC220V，50/60Hz，1.2KW

离地高度

820±20mm

设备重量

420KG

前后设备通讯

--

气压要求

不需要

设备安规

符合CE安全标准

环境温湿度

10～35℃，35～80％ RH（无结露）

三、  EKT-VT-880型号主要配置清单

品 名

规 格

品 牌

研磨滚珠丝杆

上银

直线滑轨

上银

固定侧支撑座

TGB

支撑侧支撑座

TGB

伺服驱动器

MR-E20A/40A

三菱

伺服电机

HF-KN2J-100

三菱

数字相机

5.0Mega

AOI定制相机

镜头

工业FA

日本米思米

千兆网卡

PRO/1000 GT

Intel

运动控制卡

PCI-9014

升立德

开关电源

NES-35-24

明纬

开关电源

NES-35-12

明纬

万能转换开关

SZW26-20/2 380V20A 65MM

西门子

三芯插头

10A 250V

公牛

插座

万用 三位

公牛

光电感应器

EE-SX671A

欧姆龙

光电感应器

EE-SX671

欧姆龙

CPU

E3.3.40GHZ

Intel

CPU散热器

铜芯

九州风神

主板

P8H81-PLUS (SOCKET 1150)

华硕

内存

16.0GB

金士顿

机械硬盘

1TB  WDC   WD10EZEX(SATA)

显示器

22寸16:10

飞利浦

键盘鼠标

K120

罗技

电源

350W+

长城